BUSINESS

産業用ガス

特殊ガス

特殊ガスは、先端技術をバックグランドで支えています

半導体製造に使用する数十種類のシリコンウェハーなどの半導体製造用に使用するモノシラン・三フッ化窒素をはじめとして、数十種類の特殊ガスを高い品質で取り揃えております。さらに製造過程で必要とされるウルトラクリーン技術においても超微量ガス分析計など、先端技術に欠くことの出来ない各種装置も取り扱っております。

ガス名所 分子式主な用途
特殊材料ガス
レアガス(稀ガス)  

*取扱のない商品もございます。詳しくはお問合せください。